Intel обробила понад мільйон пластин на High-NA EUV і випередила решту галузі

Intel заявила, що її парк сканерів High-NA EUV обробив понад один мільйон 300-мм пластин менш ніж за два з половиною роки після складання першої установки. Число включає пластини, використані під час монтажу й сертифікації обладнання, дослідні роботи та реальне виробництво. Тому мільйон не можна напряму трактувати як кількість товарних процесорів, але це вагомий показник зрілості інструментів і процесів.

Компанія має два ASML Twinscan EXE:5000 та щонайменше один швидший EXE:5200B. У лютому 2025 року накопичений показник Intel становив близько 30 тисяч пластин. High-NA вже сертифіковано для техпроцесу 18A, і обладнання використовується під час виготовлення частини Panther Lake. У квітні 2026 року ASML повідомляла, що всі поставлені тоді High-NA системи разом перевищили 500 тисяч пластин при доступності понад 80%.

High-NA застосовує числову апертуру 0,55 та анаморфне збільшення 4×/8×. Зі стандартним фотошаблоном 6×6 дюймів поле на пластині скорочується приблизно до 26×16,5 мм. Великий кристал доводиться експонувати двома половинами й точно зшивати. За наведеними даними, для EXE:5200B це може знизити продуктивність із 175 до 125 пластин на годину та створює додатковий ризик дефектів на межі.

Intel просуває перехід до фотошаблонів 6×12 дюймів, які дозволили б експонувати повне поле 26×33 мм без зшивання. Але подвоїти розмір ретикла недостатньо: потрібні нові заготовки, системи нанесення шарів, травлення, перевірки, очищення, пелікули, записувачі масок і механізми транспортування. Також мають змінитися самі сканери. Це багаторічна перебудова екосистеми, а не готове рішення найближчого покоління.

Важливо відокремлювати офіційне повідомлення або одиничний дослід від незалежно перевіреного результату. Доступність функції, сумісність із конкретною конфігурацією, стабільність програмного забезпечення та довготривала робота можуть відрізнятися від першої демонстрації. Перед практичним використанням варто перевірити документацію, резервне копіювання, гарантію та відгуки користувачів серійної версії.

Для українського користувача ціни у доларах не є прямою роздрібною пропозицією: додаються курс, доставка, податки та сервіс. Якщо йдеться не про купівлю, а про експериментальну технологію, головним критерієм стає відтворюваність. Одна гучна цифра без опису методики не дає достатньої підстави для висновку про весь ринок або перевагу продукту.